セッション詳細
[8p-E310-1~7]次世代デバイスの実現に必要なFabオペレーション技術
2026年9月8日(火) 13:30 〜 17:45
E310 (総合教育棟 E棟)
座長：中川 真一(SCREEN)、 三津江 敏之(デロイトトーマツ)
材料・デバイスの革新だけでなく、それを支える量産Fabの制御技術を含めた研究設計が、次世代半導体には不可欠である。本シンポジウムでは、工程順序・装置投入時刻・工程間待ち時間・自動搬送を高精度に管理できる量産Fabで初めて製造可能となる先端チップの可能性を、先端量産Fab・3次元集積・設計製造連携・環境負荷低減の視点から議論し、製造現場の時間的・工程的制約を新たな半導体研究の出発点と捉え直す。