セッション詳細
[8p-E310-1~7]次世代デバイスの実現に必要なFabオペレーション技術
2026年9月8日(火) 13:30 〜 17:45
E310 (総合教育棟 E棟)
[8p-E310-1]オープニング・翡翠輝石賞表彰
〇熊谷 賢治1 (1.村田機械株式会社)
[8p-E310-2]半導体製造におけるPFCガス削減に向けた取り組み
〇福水 裕之1 (1.キオクシア（株）)
[8p-E310-3]環境負荷低減における計測技術と半導体産業のグリーン化への貢献
〇吉岡 雅也1、河南 宣之2 (1.堀場製作所、2.堀場エステック)
[8p-E310-4]Muiti-Fabオペレーションと計画の未来像：因果と外部性を考慮した多目的、共生型システムへ（仮題）
〇有馬 澄佳1 (1.筑波大学 システム情報系)
[8p-E310-5]Fabオペレーションを推進するデータセキュリティ
〇丸山 祐丞1,2 (1.EAGLYS株式会社、2.早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構)
[8p-E310-6]次世代半導体製造を加速する設計・製造連携
〜AIエージェントが繋ぐ先端プロセス製造とチップ設計〜
〇鶴﨑 宏亀1 (1.ラピダス株式会社)
[8p-E310-7]クロージング～新しい半導体研究の出発点～
〇秋永 広幸1 (1.北海道大学)