[8p-N101-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[8p-N101-1] スパッタ成長n型AlGaN上室温in-situスパッタ堆積Tiの結晶配向性評価

〇(DC)内藤 愛子¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

オーミックコンタクト、配向性、in-situ