2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

16:00 〜 16:15

[8p-N101-10]スパッタ法によるGaN上六方晶ε型NbN薄膜の作製

〇児玉 竹琉1、加藤 雄貴1、増沢 向凌1、原田 尚之1,2、池田 和久1、小林 篤1 (1.理科大院先進工、2.NIMS)

キーワード：

超伝導体、NbN

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