講演情報

[8p-N101-13]ナノチャンネルエピタキシーとリモートエピタキシーによるGaN成長その場X線回折測定

〇成塚 重弥1、丸山 隆浩1、佐々木 拓生2、大和田 謙二2、押目 典宏2、ハリーズ ジェームズ2 (1.名城大学理工、2.QST.)

キーワード:

ナノチャンネルエピタキシー、その場X線回折測定、リモートエピタキシー