2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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16:45 〜 17:00
[8p-N101-13]
ナノチャンネルエピタキシーとリモートエピタキシーによるGaN成長その場X線回折測定
〇成塚 重弥
1
、丸山 隆浩
1
、佐々木 拓生
2
、大和田 謙二
2
、押目 典宏
2
、ハリーズ ジェームズ
2
(1.名城大学理工、2.QST.)
キーワード:
ナノチャンネルエピタキシー、その場X線回折測定、リモートエピタキシー
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