[8p-N101-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

14:30 〜 14:45

[8p-N101-5] r面サファイアの表面終端構造制御によるa面AlN高品質化

〇赤池 良太^1,2、森 新之助¹、横山 広樹¹、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.三重大半デセンター、3.三重大研基機構)

キーワード：

a面AlN、スパッタリング、CAICISS