講演情報
[8p-N101-6]窒化サファイア基板上高温AlNにおける極性反転機構
〇桑原 佑基1、藤井 滉樹1、松原 優翔1、林 悠希矢1、清水 蒼輝1、高島 祐介1,2、直井 美貴1,2、松村 賢3、常盤 美怜4、三崎 日出彦4、上岡 義弘4、召田 雅実4、永松 謙太郎1,2,5 (1.徳島大学大学院創成科学研究科、2.徳島大ポストLEDフォトニクス研究所、3.株式会社東ソー分析センター、4.東ソー株式会社、5.徳島大フォトニクス健康フロンティア研究院)
キーワード：
AlN、極性反転、MOVPE