2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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15:00 〜 15:15
[8p-N101-7]
Gaサーファクタント効果によるAlNマクロステップテラスのステップフリー化の検討
〇(D)藤井 滉樹
1
、松原 優翔
1
、井関 創一朗
1
、林 悠希矢
1
、桑原 佑基
1
、清水 蒼輝
1
、高島 祐介
1,2
、直井 美貴
1,2
、永松 謙太郎
1,2,3
(1.徳島大院創成、2.徳島大pLED、3.徳島大IPHF)
キーワード:
AlN、MOVPE
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