講演情報
[8p-N102-1]SPring-8-IIが拓く先端半導体解析技術の新展開
〇初井 宇記1 (1.理研)
キーワード：
分析、非破壊分析、X線
SPring-8は世界を代表する大型放射光施設であり、極めて高輝度なX線を用いた最先端研究を可能にします。さらにX線輝度を飛躍的に向上させるSPring-8-IIへのアップグレードが進行中です。本講演では、SPring-8-IIの非破壊X線解析技術によって半導体デバイス内部のナノ構造やひずみを可視化する取り組みを、得られつつある成果を交えて紹介し、次世代半導体技術革新への応用可能性を展望します。