講演情報
[8p-N102-5]電子・イオンビームを用いた微細加工装置の最前線
〇杉原 達記1 (1.(株)エリオニクス)
キーワード：
電子ビーム、イオンビーム、微細加工
株式会社エリオニクス（当社）は，1975年の創業以来，ナノテクノロジーの進歩に貢献すべく，微細加工装置や計測分析装置を開発してきた．本発表では，当社が開発する電子ビーム描画装置とECRイオンビーム装置について技術的な紹介を行う．また，近年の需要を踏まえた当社の取り組みと応用事例について発表を行う．
電子ビーム、イオンビーム、微細加工