講演情報
[8p-PB1-11]磁石内蔵型ホロー電極による容量結合型水素プラズマの高密度化
〇(M1)松吉 宇宙1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
キーワード：
プラズマプロセス
プラズマプロセスにおいて、容量結合型プラズマ（CCP）は構造が簡単かつ低コストで導入可能であることから広く利用されている。しかしながら、CCPは他方式と比べてプラズマ密度が低いため、生産性の観点から課題がある。CCPの高密度化を実現するために、磁石を内蔵したホロー電極を用いた方式を検討している。本報告では、新たな磁石配置を検討し、プラズマ中の電子の磁気特性を解析し検討した結果について報告する。