講演情報
[8p-PB1-4]Self-Ionized SputteringシミュレーションにおけるCu反応モデルの改良
〇磯野 晋1、田宮 慎太郎1、渡辺 将也1 (1.アルバック)
キーワード：
セルフイオンスパッタリング、マグネトロンプラズマ、シミュレーション
我々はPIC/MC法とDSMC法の連成解析により，Self-Ionized Sputtering（SIS）プロセスを再現することを目指している．しかしながら，基底状態からの電離・励起反応のみを考慮したCu反応モデルを用いた解析では，Cuイオンがターゲット近傍に局在し，ステージ側まで十分に輸送されない課題が残った．そこで本研究では，Cuイオン輸送への寄与が予想される励起種を経由する段階的な電離過程およびCuイオンの電荷交換衝突を導入した新たなCu反応モデルを構築し，SIS放電におけるCuイオン輸送への影響を評価した．