講演情報
[8p-PB1-5]Plasma Hybrid Moduleを用いたXeプラズマの電子温度シミュレーション
〇増田 秀樹1、笠原 春生1、田中 正明2、小坐間 孔志1 (1.日本電子、2.ペガサスソフトウェア)
キーワード：
電子温度、誘導結合プラズマ
プラズマ中のイオンを加速してイオンビームとして取出し、半導体加工に利用するためには、光源となるプラズマに高いイオン密度が求められる。プラズマを閉じ込める容器が小さく、プラズマが存在する空間のサイズが小さくなった場合、大きなサイズでの平衡状態から推定することが難しい。そこでPHMを用いてプラズマ空間をシミュレーションして電子温度やガス密度とサイズの関係を調べた。