講演情報
[8p-PB1-6]RFアンバランスドマグネトロンプラズマの空間構造
〇(M2)三原 智也1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
キーワード：
プラズマ生成、アンバランスマグネトロン
アンバランスドRFマグネトロンプラズマにおけるプラズマ密度の空間構造を調査した。中心磁石と外側磁石からなるアンバランスドマグネトロン構造を用い、RF電力およびArガス圧力を変化させて加熱型ラングミュアプローブによる計測を行った。その結果、プラズマ密度は異極磁石間で最大となり、ターゲットから離れるにつれて減少した。また、プラズマの拡散に伴い密度分布の均一性が向上することを確認した。