[8p-PB1-1~14] 8.1 プラズマ生成・診断

[8p-PB1-8] プラズマ照射下におけるSiO₂表面での酸素原子表面損失確率

〇佐藤 颯斗¹、竹田 圭吾¹ (1.名城大理工)

キーワード：

酸素プラズマ、表面損失確率、VUV吸収分光法

溶融石英基板およびSi基板上に形成したプラズマ酸化SiO₂膜を対象に、VUV吸収分光法により表面近傍の酸素原子密度分布を測定し、ミルンの境界条件に基づいて表面損失確率βを評価した。形成過程の異なるSiO₂膜上でのO原子損失過程を分析し、それらを比較した結果について議論する。