[8p-PB1-1~14] 8.1 プラズマ生成・診断

[8p-PB1-9] RFマルチホロー磁化AZOスパッタプラズマの空間構造

〇山縣 実¹、大津 康徳¹ (1.佐大院理工)

キーワード：

RFスパッタ

ITOの代替材料であるAZOの低温成膜を目指し、中心部にもホロー溝を追加した新型のマルチホロー磁化電極を検討した。Arプラズマのイオン飽和電流の空間分布を、RF電力とガス圧をパラメータとして測定し、中心溝・外側溝の双方で高密度プラズマが生成されることを確認した。