講演情報
[8p-PB3-10]Fe-Niホイルの単結晶化によるCVD-hBNの均一性向上効果
〇下村 優依1、小子内 行羅1、深町 悟1、吾郷 浩樹1,2 (1.九大院総理工、2.九大半導体センター)
キーワード：
六方晶窒化ホウ素、CVD
これまで、hBNのCVD成長における触媒金属としてホウ素と窒素の両方をバランスよく固溶させることを目的として、Fe-Ni合金ホイルを用いてきた。しかし、このFe-Niホイルが多結晶であるため、hBN膜厚の不均一性やグレイン配向の不一致によるhBN膜での粒界の形成といった課題があった。
そこで本研究では、Fe-Niホイルをアニーリングすることで単結晶化し、その上に成長する多層hBNへの影響を調べた。
そこで本研究では、Fe-Niホイルをアニーリングすることで単結晶化し、その上に成長する多層hBNへの影響を調べた。