[8p-PB3-1~46] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[8p-PB3-14] ナノ空間における積層MoS₂/WS₂ヘテロ構造の形成

〇(M1)矢田 浩恭¹、中野 颯¹、上野 啓司¹、リム ホンエン¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：

二次元層状物質、遷移金属ダイカルコゲナイド、界面成長

TMDCヘテロ構造は新規物性の発現が期待できるが、デバイス作製工程による薄膜汚染や損傷が課題となっている。それらの課題を解決するため、本研究では基板と電極金属の界面ナノ空間にMoS₂/WS₂ヘテロ構造を直接合成することを試みた。本実験では基板上にW薄膜と金薄膜を順に堆積後、MoO₃と硫黄を用いたCVD法を行うことで、金薄膜下にMoS₂がWS₂上に積層した構造が形成されたため、これを報告する。