講演情報
[8p-PB3-15]硫黄液に浸したMoO3薄膜の真空加熱により作製したMoS2のラマン分光法による評価
〇菊池 健斗1、中根 晃紀1、井上 和志1、有賀 ゆい1、末岡 和久1、八田 英嗣1、スバギョ アグス1 (1.北大院情報科学)
キーワード：
二硫化モリブデン
単層MoS2作製に向け、液化硫黄を塗布したMoO3薄膜の真空加熱法における真空度とMo膜厚の影響をラマン分光法で評価した。1×10³Paでは膜厚に関わらず数層のMoS2が形成された。一方、高真空な1Paでは4nmパターン上でのみ形成され、1nm薄膜からは形成されず、成長における真空度と膜厚の依存性が示された。