[8p-PB3-1~46] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[8p-PB3-7] CVD法を用いたα-Al₂O₃(0001)基板上への多層h-BN膜の直接成長

〇(M1)中島 健¹、渡辺 剛志¹、黄 晋二¹ (1.青学大理工)

キーワード：

h-BN、グラフェン

h-BN膜を用いることで移動度向上を図る手法に着目した。この手法の実用化には高結晶性かつ大面積のh-BN膜が必要であるため、h-BNのエピタキシャル成長が報告されているα-Al₂O₃(0001)上へのCVD直接成長を検討した。