講演情報
[9a-A11-6]スパッタリングで作製したVO2薄膜の粒度分布の二峰性と二段階相転移
〇長谷川 聖1、藤澤 浩訓1、中嶋 誠二1、大坂 藍1 (1.兵庫県立大)
キーワード：
二酸化バナジウム(VO2)、金属絶縁体相転移(MIT)、粒度分布
VO2薄膜の粒度分布と相転移特性の相関を調査した。粒度分布には26nmおよび40nmを中心とする二峰性が確認され、R-T微分曲線でも二段階の相転移が観測された。一方、粒度分布と相転移ピークの面積比は一致しなかった。これより、粒度分布によって形成される粒界ネットワーク構造が金属ドメインのパーコレーションを介した伝導経路形成に影響を与え、相転移特性に重要な役割を果たすことが示唆された。