講演情報
[9a-A33-11]単層MOS2における光変調電流のガス雰囲気依存性
〇(M2)徳田 幸晟1、毎田 修1、田畑 博史1 (1.阪大院工)
キーワード：
二硫化モリブデン、ガスセンサ
単層MoS₂は光照射によるガスセンサ特性の向上が報告されているが、その機構は十分に明らかになっていない。本研究では、窒素雰囲気中と乾燥空気中における光応答と伝達特性を評価し、酸素の影響を調べた。結果、乾燥空気中では光強度の増加に伴い応答・回復速度が向上した。また、閾値電圧シフト量は窒素雰囲気中と比較して小さい値を示した。以上より、酸素との電荷移動がフォトゲーティング効果を抑制することが示唆された。