[9a-B11-1~14] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:45 〜 12:00

[9a-B11-11] X線フィルムを用いたβ-Ga₂O₃(001)基板のX線トポグラフィ画像処理に関する検討

〇勝部 大樹¹、清水 幹幸²、大橋 良央²、姚 永昭^1,3、山口 博隆¹、横江 大作¹、石川 由加里¹ (1.ファインセラミックスセンター、2.豊田通商、3.三重大)

キーワード：

X線トポグラフィ、β-Ga2O3、転位