講演情報
[9a-B11-12]高精度EBSD解析手法を用いたβ-Ga2O3ホモエピ膜の結晶性評価
〇横江 大作1、姚 永昭1,2、清水 真紀1、石川 由加里1 (1.ファインセラミックスセンター、2.三重大学)
キーワード：
EBSD、β-Ga2O3、電子顕微鏡
β-Ga2O3基板および製膜されたβ-Ga2O3ホモエピ膜の結晶性の評価は非常に重要であり、これらの結晶性評価にはTEMによる微細構造解析やXRDを用いた結晶性、配向性評価等が行われてきた。しかし、基板とホモエピ膜の結晶性の差異が非常に小さい時の詳細な解析が課題であった。そこで近年、大きな進化を遂げているSEMを用いたEBSD解析手法を用いて、この結晶性の差異の検出限界およびホモエピ膜の結晶性の違いについて検討を行った。