講演情報
[9a-B11-13]位相差顕微鏡の β-Ga₂O₃ ナノスケール表面欠陥の回折限界以下検出
〇石川 由加里1、佐藤 功二1 (1.JFCC)
キーワード：
表面形状、位相差顕微鏡、検出限界
ウエハ品質検査においては、単一の評価手法で転位だけでなく、スクラッチやピットなどの表面凹凸欠陥も同時に検出できることが望まれる。本研究では、位相差顕微鏡を用いてβ-Ga₂O₃ウエハ表面に残存するスクラッチやピットなどの表面凹凸欠陥の検出限界を、モデル実験および理論計算の両面から評価した。その結果、対物レンズの回折限界以下の微細な表面凹凸であっても、位相差顕微鏡によって検出可能であることを示した。