講演情報
[9a-B11-4]OCCC 法における融液サイズup によるβ-Ga2O3 のバルク結晶成長
〇富田 健稔1,2、カチューリキン ヴラディミール2、グシチナ リウドミラ2、北原 正典1,2,4、村上 力輝斗3、鎌田 圭3,1,2、姚 永昭5、柿本 浩一3、吉川 彰1,2,3,4 (1.FOX、2.C&A、3.東北大NICHe、4.東北大金研、5.三重大)
キーワード：
酸化ガリウム、結晶成長
加熱時の被加熱対象の形状と物性の変化による共振周波数の変化をリアルタイム調整することによって、酸化物融液の安定加熱を実現した独自のOCCC式結晶育成装置を開発した。OCCC結晶育成装置を用い、直径150 mmの内径を持つ水冷コンテナ内でGa2O3粉末を加熱溶融し、<010>方向の種結晶を用いて65 mmの結晶育成を実現した。