[9a-B11-1~14] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:45 〜 11:00

[9a-B11-8] 原料供給型引き下げEFG法による4インチβ-Ga₂O₃結晶育成の実証

〇上田 悠貴¹、輿 公祥¹、長谷川 将¹、佐々木 公平¹、倉又 朗人¹ (1.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：

酸化ガリウム、バルク結晶、融液成長