講演情報
[9a-C310-11]WO3薄膜の透過率変化を用いた水素バリア膜の性能評価(3): 薄膜の物性が水素透過性に与える影響
〇栗原 大芽1、金 旼奭1、小口 有希2、岡島 敏浩3、重里 有三1 (1.青学大理工、2.青学大理工分析センター、3.あいちSR)
キーワード：
ガスバリア、水素科学技術、クロミック材料
水素の漏洩や脆化対策として、ガスバリア膜の開発と定量的な評価法の確立が重要である。本研究では、膜内の水素量に応じて光学密度が変化するWO3薄膜のガスクロミック特性を利用し、各種無機系バリア膜の水素バリア性能を定量解析した。透過流束から水素透過係数を見積もり、様々な成膜条件で作製されたガスバリア膜を評価した結果、成膜ガス圧はバリア性向上に重要な因子であることを確認し、優れた水素透過防止には材料選定だけでなく、成膜条件の最適化も極めて重要であることが明らかとなった。