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[9a-E311-4]同一領域観察によるSiO2/SiC界面発光中心の熱処理挙動の評価

〇(D)大西 健太郎1、原 征大1、渡部 平司1、小林 拓真1 (1.阪大院工)

キーワード:

SiO2/SiC 界面、単一光子源、量子欠陥