講演情報
[9a-E311-7]SiCシリコン空孔を用いた全光型温度分布イメージングの実装と評価
〇平石 秀徳1、針井 一哉2、大島 武2,3、好田 誠2,3,4、土方 泰斗1 (1.埼大工、2.QST、3.東北大工、4.ワシントン大)
キーワード：
炭化ケイ素、量子センサ
SiC中のシリコン空孔欠陥を用いた固体量子センサーは、赤外線検出による従来のサーモグラフィが抱える回折限界の制約を超え、サブマイクロメートルスケールでの温度計測を実現する技術として期待されている。本研究では、CMOSカメラで取得した蛍光画像から、シリコン空孔欠陥における励起状態のレベルアンチクロッシングに起因する蛍光ピークを解析し、温度を決定する非侵襲イメージングシステムを構築した。