講演情報
[9a-N101-7]n型AlN/AlGaN超格子クラッド層の厚膜化によるAlGaN紫外レーザダイオード特性の向上
〇江端 一晃1、平間 一行1、谷保 芳孝1 (1.NTT物性研)
キーワード：
AlGaN、レーザ、n型クラッド層
SiドープAlN/AlGaN超格子をn型クラッド層に用いたAlGaN紫外LDを作製し、クラッド層厚がLD特性に及ぼす影響を評価した。クラッド層厚の増加に伴い直列抵抗および動作電圧が低減し、280 nm帯の誘導放出特性が向上した。以上より、n型クラッド層の厚膜化がLD特性改善に有効であることを示した。