[9a-N102-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

10:45 〜 11:00

[9a-N102-7] スパッタガス比により極性制御したAlN薄膜を用いた分極反転10層共振子

〇鈴木 菜々海^1,2、谷口 大介^1,2、花井 彩香^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大、2.材研)

キーワード：

AlN、P3F、分極反転