[9a-PA2-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[9a-PA2-4] IPAを用いた二流体スプレー洗浄時における噴霧液滴の帯電量の把握

〇杉浦 浩太¹、佐藤 純大¹、森 竜雄¹、一野 祐亮¹、清家 善之¹ (1.愛知工大)

キーワード：

半導体、洗浄、スプレー

二流体スプレー洗浄は微粒子除去に有効であるが，噴霧液滴の帯電により静電気障害を引き起こす可能性がある。IPAを用いた二流体スプレー洗浄時の液滴帯電挙動は十分に明らかでないため，本研究ではファラデーケージを用いて純水およびIPA噴霧時の液滴電流を比較した。