[9a-PA7-1~9] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[9a-PA7-7] PS-PDMS ブロック共重合体による微細構造形成

〇(M1)大部 拓朗¹、廣田 優希¹、孟 芳竹¹、李 碩¹、尹 友¹ (1.群馬大理工)

キーワード：

ナノ構造

PS-PDMSブロック共重合体の自己組織化を利用した微細構造形成について講演を行う。ブロック共重合体の相分離機構や微細構造形成の原理を説明し、分子量やプロセス条件が構造に与える影響について紹介する。また、半導体・ナノデバイス分野への応用可能性について考察する。