2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[9a-PB2-1~15]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2026年9月9日(水) 9:00 〜 10:30
PB2 (第2体育館)

[9a-PB2-1]粉体ターゲットを用いたHEA薄膜作製I

〇川崎 仁晴1 (1.佐世保高専)
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[9a-PB2-2]窒素添加型酸化チタン薄膜のプラズマスパッタリング合成におけるプロセス圧力の影響

〇(M1)後藤 龍介1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)
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[9a-PB2-3]プラズマシミュレーションとSRIMを組み合わせたSiO2側壁膜におけるイオン入射効果の評価

〇黒崎 陽晴1、政本 元1、佐々木 睦人1、山下 大輔1、奥村 賢直1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1、鎌滝 晋礼1 (1.九大シス情)
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[9a-PB2-4]テトラメチルシランプラズマ中の膜堆積過程の赤外分光計測(2)

桒田 篤哉1、大石 侑叶1、篠原 正典2、〇岩田 晃拓2、宮澤 諒3、廣瀬 文彦3 (1.福岡大院工、2.福岡大工、3.山形大院理工)
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[9a-PB2-5]非晶質炭素膜を被覆したQCM型水素センサの水素選択性

〇(M1)大島 友輔1、石黒 康志2、Ali Alanazi3、平栗 健二1、金杉 和弥1 (1.東京電機大学、2.防衛大学、3.キングサウード大学)
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[9a-PB2-6]DLC膜への高密度プラズマ照射による表面誘起反応

〇(M1)熊谷 奏汰1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)
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[9a-PB2-7]水素フリーDLC成膜用COプラズマ特性に及ぼす希釈ガスの影響

〇(M2)佐藤 瑞起1、針谷 達2、上坂 裕之2、小田 昭紀1 (1.千葉工大、2.岐阜大)
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[9a-PB2-8]プラズマCVD法で堆積したa-C:H膜の結合様式に対する製膜条件評価

〇吉田 総一郎1、小野 晋次郎1、小原 舜平1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九州大)
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[9a-PB2-9]水素添加大気圧非平衡RFプラズマによるTi表面酸化制御とTi/PEEK直接接合への応用

〇竹中 弘祐1、上野 航季1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名大院工)
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[9a-PB2-10]窒素プラズマ処理によるMoS2のp型ドーピングと表面欠陥形成機構の評価

〇坂本 太一1、荻野 明久1 (1.静大院工)
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[9a-PB2-11]AZ91DのPEO処理における試料大面積化の影響評価

〇(M1)中野 来希1、武村 祐一朗1 (1.近大総理工)
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[9a-PB2-12]プラズマ電解酸化処理におけるマイクロアークの挙動制御

〇梅田 周1、武村 祐一朗1 (1.近大総理工)
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[9a-PB2-13]マグネシウム合金とアルミニウム合金接合のPEO処理

〇羽田 歩真1、武村 祐一朗1 (1.近大総理工)
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[9a-PB2-14]窒素酸素混合ガスを用いたコバルト薄膜の大気圧プラズマ酸化

〇武村 海1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)
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[9a-PB2-15]SiエッチングにおけるSF6/O2プラズマの活性種バランスの動的制御

〇(M2)河野 伊吹1、土岡 柊斗1、井上 健一2、堤 隆嘉2、石川 健治2 (1.名大院工、2.名大プラズマ)
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