[9a-PB2-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[9a-PB2-10] 窒素プラズマ処理によるMoS₂のp型ドーピングと表面欠陥形成機構の評価

〇坂本 太一¹、荻野 明久¹ (1.静大院工)

キーワード：

二硫化モリブデン(MoS2)、マイクロ波励起プラズマ