[9a-PB2-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[9a-PB2-5] 非晶質炭素膜を被覆したQCM型水素センサの水素選択性

〇(M1)大島 友輔¹、石黒 康志²、Ali Alanazi³、平栗 健二¹、金杉 和弥¹ (1.東京電機大学、2.防衛大学、3.キングサウード大学)

キーワード：

非晶質炭素、水晶振動子マイクロバランス