講演情報
[9a-PB2-6]DLC膜への高密度プラズマ照射による表面誘起反応
〇(M1)熊谷 奏汰1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)
キーワード：
ダイヤモンド、マイクロ波励起プラズマCVD、半導体
ダイヤモンドは優れた特性を有し、次世代パワー半導体材料として期待されている。しかし、Si基板上へのダイヤモンド成長では高密度な核生成の実現が課題となっている。近年、非ダイヤモンド炭素や炭化物が核生成に寄与することが報告されている。そこで本研究では、Si基板上に製膜されたダイヤモンドライクカーボン膜に高密度マイクロ波プラズマを照射し、DLC膜上で生じる表面反応およびダイヤモンドの核生成挙動を調査した。