[9a-PB2-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[9a-PB2-7] 水素フリーDLC成膜用COプラズマ特性に及ぼす希釈ガスの影響

〇(M2)佐藤 瑞起¹、針谷 達²、上坂 裕之²、小田 昭紀¹ (1.千葉工大、2.岐阜大)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、プラズマCVD、シミュレーション