[9a-PB2-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[9a-PB2-9] 水素添加大気圧非平衡RFプラズマによるTi表面酸化制御とTi/PEEK直接接合への応用

〇竹中 弘祐¹、上野 航季¹、内田 儀一郎²、節原 裕一¹ (1.阪大接合研、2.名大院工)

キーワード：

金属酸化物還元、異材接合