講演情報
[9p-A21-10]貼り合わせ基板を用いたSiC MOSFET内蔵pinダイオードの特性解析
〇(M2)馬場 智大1、矢野 裕司1、岩室 憲幸1 (1.筑波大学)
キーワード：
SiC MOSFET
SiC MOSFETの低コスト化に向け、多結晶SiCと単結晶SiCを用いた貼り合わせ基板が注目されている。本講演では、貼り合わせ基板SiC MOSFETの内蔵pinダイオードについて、順方向特性と逆回復特性のトレードオフ改善結果に加え、低電流密度条件での逆回復時ピーク電圧増大について報告する。