[9p-A22-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[9p-A22-1] 赤外近接場光によるSi系積層膜解析に向けた空間分解能実証

〇(D)小田原 遼河¹、清水 康雄²、嵯峨 幸一郎²、河野 行雄^1,3,4 (1.中央大学、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ（株）、3.国立情報学研究所、4.神奈川県立産業技術総合研究所)

キーワード：

半導体、走査型近接場光学顕微鏡、赤外光イメージング