講演情報
[9p-A22-2]弱局在効果を用いた極低温温度計の開発と極低温におけるSiO2熱伝導率の測定
〇(M2)渡邉 一輝1、森田 路真1、吉永 啓人1、豊島 遼1、内田 建1 (1.東大工)
キーワード：
クライオCMOS、熱伝導率、弱局在効果
量子コンピュータ実現にはクライオCMOSが必要であり，その熱設計には極低温下でのCMOS材料熱伝導率の実験的評価が不可欠である．本研究では，弱局在効果により極低温でも抵抗率が温度依存性を示すCu薄膜温度計を開発し，3ω法によりSiO2の熱伝導率を極低温で測定した．測定結果は定常法で測定された文献値と誤差範囲内で一致し，CMOSプロセス互換な極低温熱物性評価手法として有効であることを示した．