講演情報
[9p-B11-3]酸化物気相成長法によるGeO2成長における結晶相形成の温度依存性
〇中野 春流1、宇佐美 茂佳1、今西 正幸1、森 勇介1 (1.阪大院工)
キーワード：
二酸化ゲルマニウム、酸化物気相成長法、結晶成長
OVPE法によるGeO2成長における結晶相形成の成長温度依存性を検討した。643℃ではr-GeO2とα-GeO2がともに成長した。706℃では単相のr-GeO2が得られた。746℃では成長が確認されなかった。表面観察および浸漬試験から，r-GeO2は薄膜，α-GeO2は結晶粒として形成されていることが確認された。