講演情報
[9p-B31-1]オープニング～プラズマとカーボン系薄膜～
〇針谷 達1 (1.岐阜大)
キーワード：
プラズマプロセス、カーボン系薄膜、量子センサ
ダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボン（DLC）を中心とするカーボン系薄膜は，熱伝導材料，電子デバイス，量子センサ，バイオ応用など，多様な分野で重要性を増している。これらの材料の機能は，成長過程における構造形成や界面状態に強く依存しており，その起源はプラズマプロセスにおける活性種の生成・輸送・反応にある。ここでは，プラズマとカーボン系薄膜をつなぐ視点を共有し，分野横断的な議論の深化を目的とする本シンポジウムの企画趣旨を紹介する。