[9p-B31-1~8] 活性種制御・界面形成・機能創発：プラズマとカーボン系薄膜をつなぐ視点

13:40 〜 14:10

[9p-B31-2] 活性種計測と機械学習が拓くカーボンナノ材料形成機構の理解

〇近藤 博基¹、安藤 悠介²、上岡 直樹²、石川 健治³、堤 隆嘉³、堀 勝³、平松 美根男⁴、松尾 豊² (1.九大シス情、2.名大院工、3.名大低温プラズマ、4.名城大理工)

キーワード：

カーボンナノ材料、プラズマ励起化学気相堆積法、機械学習

プラズマCVDによるカーボン材料形成では，活性種が表面反応や構造形成を支配するが，多数の活性種が共存するためその役割の理解は容易ではない。本講演では，発光分光法および質量分析法による活性種計測と説明可能な機械学習を組み合わせ，活性種の寄与度や相互作用を定量解析した結果を紹介する。アモルファスカーボン薄膜を中心に，活性種組成と表面反応・成膜機構との関係について議論する。