講演情報
[9p-E208-1]コリメート照明を用いた大間隙近接露光による緩曲面へのリソグラフィ
〇堀内 敏行1、岩崎 順哉1、小林 宏史1 (1.東京電機大工)
キーワード：
曲面リソグラフィ、近接露光、コリメート照明
樹脂製品の表面への配線や電極の形成、身体屈曲部用ヘルスモニタの作製等に役立てるため、緩曲面に線幅100～500μmの任意パターンを簡便安価に形成するリソグラフィ技術を開発中である。従来検討して来た回転放物面鏡を用いる投影露光は、投影形状が歪むので、予めレチクルの補正が必要となる。この不便を解消する新技術として、コリメート照明による大間隙近接露光を検討した。歪まず、均一で良好なパターンを形成できた。