講演情報
[9p-E208-11]溶解性UV硬化樹脂を用いた反射防止金属自立膜の作製
〇小川 泰知1、谷口 淳1 (1.東理大先進工)
キーワード：
ナノインプリント、モールド、プラズモン
基板による制約を受けない自立型金属薄膜にモスアイ構造を導入すると、剥離性のあるモスアイ金属薄膜が作製できる。また金属の表面プラズモン特性との相乗効果で、可視光から近紫外の広帯域にわたり高い反射防止効果が期待される。本研究では、溶解性UV硬化樹脂(PAK-YY01, 東洋合成工業)を用いたUVナノインプリントリソグラフィにより、モスアイ構造を有する自立型金属薄膜の作製を試みた。