講演情報
[9p-E208-6]EB / EUVリソグラフィ用有機無機ハイブリッドレジストのリソグラフィ性能
への有機配位子構造の効果
〇山本 洋揮1、濱田 崇1、古澤 孝弘2 (1.量研高崎、2.阪大産研)
キーワード：
レジスト材料、EUVリソグラフィ、有機無機ハイブリッドレジスト
現在、金属コアと有機配位子から成るメタルレジストなどといった革新的な材料の研究・開発が進められている。本研究では、ヒドロキシル基とカルボン酸をもつサリチル酸の有機配位子のレジスト性能への影響を調べるため、新たな有機無機ハイブリッドレジストを合成し、リソグラフィの性能評価を行った。