[9p-E208-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[9p-E208-9] エステル/アルコール混合現像液によるPMMAレジストの感度向上

〇堀 菜津子¹、岸村 由紀子¹、星野 亮一²、浅田 裕法¹ (1.山口大工、2.ファインマテリアルシステム)

キーワード：

電子線レジスト、PMMA、エステル現像液

本研究室では、MIBKに代わるPMMAの代替現像液として、エステル溶媒について検討している。今回、エステル溶媒にエ タノールを添加したところIPA同様、混合比が少ないところで大幅な感度向上がみられたので報告する。