[9p-E311-1~21] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、15.4 Ⅲ-Ⅴ族窒化物結晶のコードシェアセッション

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[9p-E311-13] 混入酸素がAlBN薄膜の格子定数と結晶配向性に与える影響

〇川井 望夢¹、白石 健¹、三上 杏太¹、木本 恒暢¹、金子 光顕¹ (1.京大院工)

キーワード：

AlBN、強誘電体

高温動作集積回路には，AlBN/SiC構造で良質な特性を得ることが重要である．本研究では，AlBN/SiC構造において，成長中に混入する酸素がAlBNに与える影響を評価した．その結果，AlBNの c 軸長はホウ素ではなく混入酸素量に依存して単調増加することがわかった．さらに，酸素濃度5~6%付近で，スパッタAlBN膜で最小のFWHMを観測したので報告する．